ハイエンド型アクティブ除振システムMiXシリーズ
精密作業の効率と精度を同時に実現
従来、制振性能と除振性能は両立が難しいとされていました。そんなトレードオフの関係を破るべく、MiXは独自の変位抑制機構と水平剛性強化機構を用いて、セトリングタイムの短縮と優れた除振効果をかなえました。
- アクティブ
- ユニットタイプ
概要・特長
特許取得 水平変位抑制機構
金属と弾性体の薄板を組合せた「水平変位抑制機構」により、水平方向に大きく揺れる振動と変位を抑制することが出来ます。
・通常時には柔軟に、振動時には高い制振性能を発揮
変位が無い静止状態では柔軟に動作し、いざ大きな変位が発生した時には素早く装置を安定させます。
・安定した水平保持で機器の性能を最大化
テーブルの水平変位を効果的に抑えるため、機器の動作や計測に安定した環境を維持します。
圧倒的な制振性 －荷重移動や内部振動による揺れもピタリと安定－
・新機能！「変位抑制機構」「水平剛性強化機構」でセトリングタイムを短縮
空気バネの最適設計とアクティブ制御の組み合わせにより応用性を向上。
振動の減衰時間が大幅に縮まることで、装置の１サイクルあたりの処理時間も短縮されます。
・水平変位を最小化することで、測定精度・加工精度を安定化
ステージの「Step＆Repeat」動作などで発生する定盤の最大水平変位を最大に抑制。
計測や加工に利用できる安定時間が増え、トータルの生産性が向上します。
こだわりの減衰性 －床や周辺環境からの振動伝達をしっかりカットー
・10Hzの振動を-40dBまでカット
ポンプ・空調等の上下振動に高い抑制効果を発揮
・1Hzから十分に除振効果を発揮
歩行や建物による微細な横揺れを大幅低減
振動環境モニタリングアプリ標準装備
・振動環境の履歴を残し、VCレベルも一目瞭然
仕様
- 仕様表
・さらに、用途に合わせて選べる3タイプ
Sタイプ・・・・・除振性能を重視
Mタイプ・・・・・除振・制振のバランスを重視
Hタイプ・・・・・制振性能を重視
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