除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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  1. 除振(振動絶縁)とは

技術情報

除振(振動絶縁)とは

定義

振動問題の対策として、除振、防振、制振などがあります。

除振(振動絶縁):

振動により悪影響を受ける機器に床からの振動が伝わらないようにすること。
例えば、精密測定機器、半導体・液晶製造検査装置、顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡、超精密加工機などの除振。

防振:

機器が発生する振動を周囲装置や周辺環境に伝えないようにすること。
例えば、エンジン・ポンプ、圧縮機、プレス機等の防振。 

除振システムの役目は主に除振です。制振も行います。除振システムは防振装置として使われることもあります。

除振性能

除振システムの性能を“固有振動数”で表現する場合、一般的に固有振動数が低いと性能が良いです。
除振システムは、図1のようにばねや減衰要素(ダンパ)とそれにより支持される質量として簡易表現されます。

図1.除振システムのモデル

除振システムのモデル

Z1:質量の変位,Z0:床の変位

図2は、除振性能を表したグラフです。

振動伝達率

縦軸は除振システム上の振動と床の振動の比である振動伝達率、横軸は振動数(周波数)です。
このように、固有振動数に共振ピークを持ち、それ以上高い振動数では振動伝達率が小さくなっていきます。
振動伝達率が1より大きい振動数域では、振動は床より増えます。
振動伝達率が1より小さい振動数域では、振動は床より小さく、除振されます。
振動数が共振ピーク振動数より大きくなればなるほど、この除振効果は大きくなります。
つまり、固有振動数が低ければ低いほど、除振効果の得られる振動数域は広くなり、除振性能が高くなります。

参考・引用文献
時田保夫・森村正直監修 防振制御ハンドブック