除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
振動を含めあらゆるノイズに対処する
トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

  1. 半導体製造・精密加工

分野から探す 半導体製造・精密加工

装置の性能を最大限に引き出す除振システムを開発供給

技術の進歩に伴いますます微細化・高速化する半導体の製造・検査工程。振動の除去は製品の歩留まり改善に直結します。明立精機では、半導体や液晶の製造・検査装置の性能を最大限に引き出すことの出来る組込型除振システムを開発供給し、高い信頼性と実績を培ってきました。
ステッパーを初め、液晶レーザアニール装置、各種検査装置など設計段階からお声をかけていただければ、最適の除振システムを提供いたします。

ユニットタイプ

  • 空気ばね式除振装置

    APシリーズ

    精密機器の個性に合わせた最適な除振システムが低コストで構成できます。

  • ユニット型コイルばね式除振装置

    SMIシリーズ

    精密機器に直接組込可能なユニット型コイルばね式除振装置

  • 空気圧制御式アクティブ除振システム

    MAPSシリーズ

    6自由度アクティブ制御で全自由度の振動に対して優れた除振性能、制振性能、位置決め性能を発揮