除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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  1. 空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ

空気圧制御式アクティブ除振装置MRZシリーズ

FPD製造装置等大型装置向アクティブ除振装置のロープライス化を実現しました。

多くの納入実績を持つMAPSシリーズ。その中でも特に要望の多かったMAPS-130,240の性能はそのままに、一から設計を見直しすることによりコストパフォーマンス向上を実現したMRZシリーズを開発・実用化しました。

  • アクティブ
空気圧制御式アクティブ除振装置 MRZシリーズ
  • ユニットタイプ

概要・特長

主な用途

FPD・半導体製造装置、電子顕微鏡・真空関連装置、測定機器、超精密加工機、etc.

6自由度アクティブ制御

垂直・水平の空気圧アクチュエータを組み込んだユニットタイプ
パッシブ除振では難しい帯域の振動も除振します。

アクティブ状態でFB+FloorFF制御を行います

FB:フィードバック制御系
FloorFF:床振動フィードフォワード制御系
StageFF:ステージフィードフォワード制御系(オプション)

「軽量・コンパクト」「低消費電力」「低価格」

ユニットの軽量・コンパクト化、消費電力の低減、ロープライスを実現しました。

特許取得済

特許第5457821号

MRZ振動伝達率・外形寸法図

仕様

  • 主な仕様
型式/typesMRZ-330MRZ-520
搭載可能質量 [kg](4ユニット使用時)4,000~12,80010,000~32,000
機体寸法W×D×H [mm]504x404x191694x594x191
ユニット質量[kg/個]60110
供給空気圧[MPa]0.6~0.8(Clean dry air)
定常空気消費量[l/min]120~170
最大空気消費量[l/min]300
 電源電圧[V]100~240 (AC単相, 50/60Hz)
最大消費電力[VA]72
周囲温度[℃]0~40
周囲湿度[%RH]35~85
除振・制振方式空気圧制御による振動制御
コントローラ寸法W×D×H [mm]435x300x118
コントローラ質量[kg]7.5

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