除振台・光学定盤の明立精機株式会社。
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トータル・ノイズ・ソリューションを提供します。

  1. ユニット型空気ばね式除振装置 AP-MKHシリーズ

ユニット型空気ばね式除振装置AP-MKHシリーズ

最高グレードのパッシブ除振装置レベルの除振性能でありながら可動部のある装置にも使用可能な低固有振動数パッシブ除振ユニット

明立精機パッシブ除振装置ラインナップの中でも最高グレードの除振性能でありながら、ステージ等可動部への対応も可能です。高精度・高スループットを要求される製造装置に高コストパフォーマンスの除振装置を提供いたします。

  • パッシブ

適用分野

  • 計測・計量機器
  • 半導体製造・精密加工
AP-MKHシリーズ
  • ユニットタイプ

概要・特長

外観図

AP-MKH外観図

仕様

  • 主な仕様
型式AP-230MKHAP-270MKHAP-330MKH
固有振動数垂直:1.5~2.0Hz / 水平:0.7~1.0Hz
除振方式空気ばね
制振方式オリフィスによるエアーダンピング
レベル維持方式自動レベル維持機構(復帰精度±100μm)
機体寸法
W×D×H(mm)
320×320×325320x320x325370×370×325
機体質量(kg)
[空気ばね1個]
546481
搭載可能質量(kg)
[空気ばね4個使用時]
6200860013000
AxB(mm)290x290290x290340x340
ΦC(mm)131313
供給圧力0.5MPa(空気源:コンプレッサー・工場エアー・窒素ボンベ)

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